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英福康公司是真空儀器、關鍵傳感器技術和先進的工藝控制軟件方面領先的開發、制造與供應商，其產品廣泛應用于半導體及相關工業以及其它真空行業。這些分析、測量和控制產品對于原始設備制造商和終端用戶在復雜的半導體、平板顯示器、磁和光學儲存媒體與精密光學元件的制造方面是極為重要的。 ...[查看更多]
| 技術規范 | P3000XL |
| 可檢氣體 | 氦 |
| *小可檢漏率(具有 300 sccm) | 1×10-7毫巴·升/秒 |
| 測量范圍(具有 300 sccm) | 5個量級 |
| 測量范圍(具有 3000 sccm) | 4個量級 |
| 傳感器響應時間 | 450毫秒 |
| 響應時間包括吸槍管線 | <0.7秒 |
| 漏率單位 | 毫巴·升/秒;帕·米3秒;ppm |
| 冷媒等效漏率 | 克/年; 盎司/年; 磅/年 |
| 啟動時間 | <3分鐘 |
| 尺寸(寬×深×高) | 610×265×370毫米 24×10.4×14.6吋 |
| 重量 | 27公斤(60磅) |
| 氣體流量 | 300/3000標準大氣壓·毫升/分 |
| 環境溫度范圍 | 10-45℃(50-113℉) |
專業從事儀器儀表檢修9年，部分可提供服務的產品型號如下：
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