英福康公司是真空儀器、關(guān)鍵傳感器技術(shù)和先進(jìn)的工藝控制軟件方面領(lǐng)先的開(kāi)發(fā)、制造與供應(yīng)商,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及相關(guān)工業(yè)以及其它真空行業(yè)。這些分析、測(cè)量和控制產(chǎn)品對(duì)于原始設(shè)備制造商和終端用戶在復(fù)雜的半導(dǎo)體、平板顯示器、磁和光學(xué)儲(chǔ)存媒體與精密光學(xué)元件的制造方面是極為重要的。 ...[查看更多]
德國(guó)INFICON UL5000干式氦檢漏儀由愛(ài)儀器儀表網(wǎng)代理,本產(chǎn)品是測(cè)量*的氦檢漏儀,現(xiàn)在熱賣中,如需購(gòu)買,可通過(guò)ai1718.com的客服熱線聯(lián)系我們!
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
?英福康UL5000氦氣檢漏儀設(shè)計(jì)用于滿足*關(guān)鍵和*苛刻的檢漏應(yīng)用。通過(guò)在現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證過(guò)的真空設(shè)計(jì)中采用英福康專利軟件算法I-CAL和Hydro-S
?UL5000提供測(cè)試靈活性、高靈敏度和快速、*的測(cè)量結(jié)果,使得所有檢漏應(yīng)用更迅速、更容易
?該UL5000為所有測(cè)量范圍提供快速詳細(xì)時(shí)間,并提供極短的周期時(shí)間以滿足測(cè)試條件和*終結(jié)果。該特別設(shè)計(jì)的真空結(jié)構(gòu)提供持續(xù)、高度的氦氣抽吸及極快的響應(yīng)時(shí)間
產(chǎn)品特點(diǎn):
?I-CAL(智能——漏率計(jì)算法)確保了所有測(cè)量范圍中的快速響應(yīng)
?經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的英福康扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀多年以來(lái)的*、可重復(fù)結(jié)果實(shí)現(xiàn)了無(wú)故障、免維護(hù)的設(shè)計(jì)
?特殊的多入口渦輪分子泵可提供*佳的氦氣抽速及全壓強(qiáng)范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比,實(shí)現(xiàn)了*靈敏度、響應(yīng)度和快速清潔性
?增壓渦輪分子泵可對(duì)所有測(cè)試目標(biāo)做出快速響應(yīng),包括*大容量和腔室
?旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實(shí)現(xiàn)了操作靈活性
?自保護(hù)功能可防止UL5000受到氦氣和微粒的污染,自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保UL5000的隨時(shí)可用性
?單元和系統(tǒng)軟件的訪問(wèn)控制可通過(guò)軟件激活,防止未授權(quán)的使用或測(cè)試設(shè)置的意外修改
?通過(guò)電子郵件進(jìn)行的軟件升級(jí)可確保您的UL5000處于*佳狀態(tài)
?含*佳高度工作面的新型工作站設(shè)計(jì)以及ESD臺(tái)墊和工具箱實(shí)現(xiàn)了測(cè)試便利性
?可選RC1000遙控器
?離子源3年質(zhì)保
產(chǎn)品應(yīng)用:
?測(cè)漏半導(dǎo)體和平板工具
?測(cè)漏航空部件、配件和系統(tǒng)
?測(cè)漏學(xué)產(chǎn)品,如心房脈沖產(chǎn)生器、導(dǎo)尿管、X射線管和核磁共振(MRI)系統(tǒng)
| 技術(shù)規(guī)范 | UL1000FAB |
| *小氦可檢漏率(真空模式)*) | <5×10-12毫巴·升/秒 |
| *小氦可檢漏率(吸槍模式)*) | <5×10-8毫巴·升/秒 |
| *大氦可檢漏率,可顯示的 | 0.1毫巴·升/秒 |
| *大進(jìn)氣口壓 GROSS 模: FINE 模式: ULTRA 模式: | 15毫巴 2毫巴 0.4毫巴 |
| 抽速 在抽空過(guò)程中 | 25米3/小時(shí)(17.6呎3/分),50Hz 30米3/小時(shí)(21.1呎3/分),60Hz |
| 氦抽 GROSS 模式: FINE 模式: ULTRA 模式: | *大8升/秒 7升/秒 2.5升/秒 |
| 漏率訊號(hào)的時(shí)間常數(shù) (盲住,63%*終值) | <1秒 |
| 抽空時(shí)間,直到準(zhǔn)備檢漏(本底5×10-9) 無(wú)附加容積 測(cè)試容積1升 測(cè)試容積10升 | 5秒 10秒 80秒 |
| 響應(yīng)時(shí)間(漏率10-9毫巴·升/秒) 容積高至1升 容積高至10升 | <1秒 <2秒 |
| 直到儀器準(zhǔn)備好運(yùn)行的時(shí)間 | <3分鐘 |
| 可檢質(zhì)量數(shù) | 2,3,4 |
| 質(zhì)譜儀 | 180°扇形磁場(chǎng) |
| 離子源 | 2根燈絲,敷涂氧化銥/釔 |
| 校準(zhǔn)漏孔TL7(內(nèi)置)漏率范圍 | 10-7毫巴·升/秒 |
| 測(cè)量單位(可選) | 毫巴·升/秒,帕·米3秒,乇·升/秒,大氣壓·毫升/秒,PPM,克/年(僅吸槍模式) |
| 測(cè)試口 | 25KF |
| 可調(diào)整的觸發(fā)點(diǎn) | 2 |
| 接口 | RS232 |
| 輸入/輸出 | PLC兼容,用于控制和狀態(tài)信息 |
| 圖形記錄儀輸出 | 2x10伏 |
| 電源電壓 | 230伏(±10%)50Hz 115伏(±10%)60Hz 100伏(±10%)50/60Hz |
| 功耗 | 1100伏安 |
| 尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 1068×525×850毫米(42×21×33時(shí)) |
| 重量 | 110公斤(242磅) |
| 保護(hù)類型 | IP40 |
| 允許環(huán)境溫度(運(yùn)行中) | +10℃.....+40℃ |
專業(yè)從事儀器儀表檢修9年,部分可提供服務(wù)的產(chǎn)品型號(hào)如下: